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北航电阻沉积炉4
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电阻沉积炉

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参数

  真空电阻炉是在真空或保护气体状态下工作,利用电阻加热使石墨发热体发热,进而产生高温,用于材料制备。一般而言,石墨发热体对置于均温区的基体进行辐射加热,在一定真空度下按照升温工艺升至规定温度,期间通入工艺所需的气体,并保持一定压力。

真空电阻炉的特点:

  1. 采用中频感应加热,温控精度高,辐射加热效率高;

  2. 采用特殊形式的保温,热损失小,热效率高;

  3. 设置多重连锁保护,安全性高;

  4. 智能HMI人机对话,可实现自动化、半自动化、人工操作等多种模式;

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